基本释义:

远紫外线光刻

网络释义

1)deep uv lithography,远紫外线光刻

2)DUV lithography,远紫外光刻

3)extreme ultraviolet lithography,极端远紫外线光刻

4)extreme ultraviolet lithography,远紫外线金属版印刷,远紫外光刻

5)ultraviolet lithography,紫外线光刻

6)Deep?UV resist,远紫外光刻胶