full wafer lithography
基本释义:
整片光刻
网络释义
1)full wafer lithography,整片光刻
2)wafer printing,晶片光刻
3)whole wafer exposure,整片曝光
4)photoresist integrity,光刻胶完整性
5)zone-plate-arraylithography,波带片阵列光刻
6)wafer printer,晶片光刻装置
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