基本释义:

设备结束

网络释义

1)device end,设备结束

2)device-end ,DE,设备操作结束

3)device-end condition,设备使用结束条件

4)device end condition,部件结束状态;设备使用结束条件

5)cluster tools,集束型设备

6)electron beam machine,电子束设备

用法和例句

The preventive maintenance optimal scheduling for cluster tools are main equipments in the modern wafer fabrication facility is studied.

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。