基本释义:

等离子体抗蚀剂灰化系统

网络释义

1)resist plasma ashing system,等离子体抗蚀剂灰化系统

2)plasma etching system,等离子体蚀刻系统

3)resist stripping system,抗蚀剂剥离系统

4)resist curing system,抗蚀剂熟化系统

5)resist ashing system,抗转剂灰化系统

6)plasma ashing,等离子体灰化